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6.3.6設(shè)備配置方案

日期：2022-01-11 01:26:39點(diǎn)擊：218

6.3.6設(shè)備配置方案
計(jì)算表明，通道長度厶不宜過長,在計(jì)算條件下，L=25 mm的通道特性（熱流密度和等溫行）要高于L較長的通道特形。在方案設(shè)計(jì)中，對(duì)于較大的基板面積,可以將通道在長度方向上進(jìn)行分割，將長通道變?yōu)槎掏ǖ溃鐖D6.3.3,圖6. 3. 4所示。

此外，對(duì)于溫差

應(yīng)該有專用設(shè)備加以保障。因?yàn)樵摐夭钍腔鍦囟群土黧w溫度之差，當(dāng)基板溫度給定以后，要求介質(zhì)溫度固定在設(shè)計(jì)值。例如，當(dāng)

,基板溫度

時(shí)，則介質(zhì)的平均溫度

；應(yīng)穩(wěn)定在30℃

為了調(diào)節(jié)進(jìn)入微通道的介質(zhì)溫度和介質(zhì)流量，應(yīng)該配備一臺(tái)專用的熱交換器.在要求提供嚴(yán)格的溫度和流量時(shí)，需采用制冷機(jī)組，在微通道中被加熱的介質(zhì)（水）作為中間介質(zhì)在制冷機(jī)的蒸發(fā)器中降溫，達(dá)到所需要的溫度后再進(jìn)入微通道，從而形成獨(dú)立循環(huán)系統(tǒng)，如圖6. 3.5所示。

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